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產品簡介
SJ6000導軌直線度激光干涉測量儀使用高性能氦氖激光器，結合伺服穩頻控制系統，達到高精度穩頻(0.05ppm)。結合不同的光學鏡組，可實現線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。
中圖儀器SJ6000導軌直線度激光干涉測量儀利用激光干涉現象來實現非接觸式測量，具有高精度、高分辨率、快速測量等優點，具有實時性測量能力，能夠同時測量多個位置或參數，提高測量效率。
▲直線度測量的光路原理構建圖
直線度干涉鏡在移動過程中產生橫向或縱向位移時，兩束反射光會有相對應的光程差產生，SJ6000采集到該光程差的干涉信號，經過運算處理，即可得出對應的直線度值。
直線度測量配置主要由SJ6000主機、短直線度鏡組（或長直線度鏡組）、SJ6000靜態測量軟件等組件構成，可滿足±3mm范圍內的直線度測量。
▲運動軸的橫向直線度測量示意圖
▲運動軸的縱向直線度測量示意圖
▲SJ6000激光干涉儀測量導軌的直線度
SJ6000導軌直線度激光干涉測量儀使用高性能氦氖激光器，結合伺服穩頻控制系統，達到高精度穩頻(0.05ppm)。結合不同的光學鏡組，可實現線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。在SJ6000激光干涉儀動態測量軟件配合下，可實現線性位移、角度和直線度的動態測量與性能檢測，以及進行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態分析，如振動分析、絲桿導軌的動態特性分析、驅動系統的響應特性分析等。
（1）可實現線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉軸等幾何參量的高精密測量；
（2）可檢測數控機床、三坐標測量機等精密運動設備其導軌的線性定位精度、重復定位精度等，以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等；
（3）可實現對機床回轉軸的測量與校準；
（4）可根據用戶設定的補償方式自動生成誤差補償表，為設備誤差修正提供依據；
（5）具有動態測量與分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等，可進行振動分析、絲桿導軌的動態特性分析、驅動系統的響應特性分析等；
（6）支持手動或自動進行環境補償。
| 穩頻精度 | 0.05ppm |
| 動態采集頻率 | 50 kHz |
| 預熱時間 | ≤ 6分鐘 |
| 工作溫度范圍 | (0~40)℃ |
| 存儲溫度范圍 | (-20~70)℃ |
| 環境濕度 | (0~95)%RH |
| 線性測量距離 | (0~80)m (無需遠距離線性附件) |
| 線性測量精度 | 0.5ppm (0~40)℃ |
| 角度軸向量程 | (0~15)m |
| 角度測量精度 | ±(0.02%R+0.1+0.024M)″ |
| 平面度軸向量程 | (0~15)m |
| 平面度測量精度 | ±(0.2%R+0.02M2)μm (R為顯示值，單位：μm；M為測量距離，單位：m) |
| 直線度軸向量程 | 短距離(0.1~4.0)m;長距離(1.0~20.0)m |
| 直線度測量精度 | 短距離±(0.5+0.25%R+0.15M2) μm長距離±(5.0+2.5%R+0.015M2) μm |
| 垂直度軸向量程 | 短距離(0.1～3.0)m;長距離(1.0～15.0)m |
| 垂直度測量精度 | 短距離±(2.5+0.25%R+0.8M)μm/m;長距離±(2.5+2.5%R+0.08M)μm/m |
平面度測量配置需求：平面度鏡組＋角度鏡組
平行度測量配置需求：依據軸向量程范圍，選擇相應直線度鏡組即可
短垂直度測量(0.1~3.0)m配置需求：短直線度鏡組＋垂直度鏡組
長垂直度測量(1.0~20.0)m配置需求：長直線度鏡組＋垂直度鏡組
直線度附件：主要應用于Z軸的直線度測量和垂直度測量
懇請注意：因市場發展和產品開發的需要，本產品資料中有關內容可能會根據實際情況隨時更新或修改，恕不另行通知，不便之處敬請諒解。
如有疑問或需要更多詳細信息，請隨時聯系中圖儀器咨詢。
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