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SuperViewW1白光干涉儀檢測設備以白光干涉技術為原理，通過系統軟件對器件表面3D圖像進行數據處理與分析，是一款用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量的檢測儀器。

SuperViewW1白光干涉3D輪廓儀可廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業及航空航天、科研院所等領域中。可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等.

SuperViewW1白光干涉測量儀系統分辨率0.1μm，重復性0.1%，通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌，專用于精密零部件之重點部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測量。具有測量精度高、功能全面、操作便捷、測量參數涵蓋面廣的優點。

SuperViewW1白光干涉儀檢測儀器由照明光源系統，光學成像系統，垂直掃描系統以及數據處理系統構成。是目前三維形貌測量領域高精度的檢測儀器之一。它以白光干涉技術為原理、結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統軟件對器件表面3D圖像進行數據處理與分析，并獲取反映器件表面質量的2D、3D參數，從而實現器件表面形貌3D測量。

SuperViewW1三維白光干涉儀分辨率0.1μm，重復性0.1%，通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌，專用于精密零部件之重點部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測量。應用領域廣泛，操作簡便，可自動聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數。

中圖白光干涉儀設備具有的測量晶圓翹曲度功能，非常適合晶圓，太陽能電池和玻璃面板的翹曲度測量，應變測量以及表面形貌測量。它以白光干涉技術為原理，能夠以優于納米級的分辨率，測試各類表面并自動聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數，通過一個按鍵開關，可以選擇三維輪廓儀使用探針掃描模式還是樣品臺掃描模式。廣泛應用于光學，半導體，材料，精密機械等等領域。